上海大学实验设备处

联系人：楼燕燕(18930057056)

仪器简介：

　　从法国JOBIN YVON公司购买的UVISEL/460-VIS-AGAS椭圆偏振光谱仪。椭圆偏振仪的优越性：非破坏性测量、高精度、高重复性、可测量透明及半透明材料、不需要参比材料、非常灵敏，尤其对于超薄薄膜(<10nm)、多参量同时测定、可选择波长测量等。测试过程是在一定光斑、波段、入射角下，检测单色光经样品反射后的偏振态变化(F、D)。然后建立模型、拟合测试数据，得到相应的薄膜厚度、光学特性(折射率、消光系数)、材料属性等。

　　椭圆偏振光谱仪要求样品表面平整、光滑、镜面反射效果越好，测试信号越强。对不透明样品，测量厚度最厚是几个微米、最薄是几个纳米，通常是有衬底支撑；对透明、半透明样品，测量厚度最厚可达7毫米。椭圆偏振光谱仪测试的薄膜样品通常的制备方法有溅射、化学气相沉积、蒸镀、溶胶-凝胶、阳极氧化等。

主要技术指标：

　　1.波长范围：260-1700nm

　　2.光斑尺寸：0.1-0.2-1mm;

　　3.入射角：可以0.01度步长在45-90度范围内自动改变；

应用范围：

　　可测试材料有透明电介质(SiO2, SiON, Al2O3, HfO2, MgO, ZrO2等)、吸收电介质(SiN, a-C等)、无机半导体(TiO2, Ta2O5, ZnO等)、金属(Al, Ag, Cr, Cu, Ti等)晶体半导体(AsGa, InP, InAs, HgCdTe, InGaP, ZnTe, CdTe等)、有机物、聚合物等。