中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

技术指标：1. 强大的电子光学系统，简单操作，最新设计的超级圆锥型物镜， 保证3nm的分辨率。很容易得到高质量照片。广域扫描线圈可以得到最低5倍的放大倍数从而提高观察样品的效率。　 优秀的电子光学系统可以在大束流下形成小束斑，有利于微区分析。 2. 高分辨率　　JSM6390系列超级圆锥形物镜，在工作距离8mm时的分辨率为3nm，超级圆锥形物镜的外形设计可以做到短工作距离情况下样品仍然可以大角度倾斜。　　3. 全自动电子枪　　JEOL开发的全自动电子枪能够产生极小电子束源，只要选择好加速电压，就可以进行观察或成分分析。　　电子枪偏压是调节电子枪亮度的重要部件。JEOL的无缝自给加压系统能随着电压变化随时调整偏压，使得无论选择哪个加速电压，都能得到最佳亮度。　　JEOL独有的像散记忆功能能够自动纠正随加速电压或工作距离改变而产生的像散。　　4. 可变焦聚光镜修正　　做表面观察和元素分析等不同应用时，选择合适束流非常重要，一般是通过聚光镜与物　　镜光阑来控制电子束流的。如果在调整束流过程中，焦点和观察区域位移变化很小，调整起来会比较方便。JEOL独有的可变焦聚光镜可以保证这一点。

仪器用途：检测

收费标准：360元/小时

机组负责人：张嫔  0512-62872625  pzhang2008@sinano.acn