主要技术指标:1.点分辨率2.3A;2.信息分辨率1A;3.场发射电子枪;4.2k′2kCCD替代普通相机;5.最小束斑直径1nm
功能/应用范围:1.微观形貌结构观测;2.在位成分分析;3.集成电路芯片定量剖析;4.材料研究;5.失效分析
技术特色:1.HREM照片;2.微区成分及结构分析;3.IC尺寸的正确提取;4.缺陷研究
主要测试和研究领域:材料/珠宝首饰电子/信息技术
收费标准:其它收费方式
仪器负责人:李楠 电话:65643033
电子邮件:fudantem@263.net