主要技术指标:扫描范围100 um (微米),纵向分辨率优于1 A (埃),横向分辨率优于1 nm (纳米)。
功能/应用范围:扫描探针显微镜(SPM)的纳米量级的分辨率和光学显微镜的方便性相结合,使得本仪器能更广泛地应用于科学研究和工业领域。其应用范围包括:1.表面和材料科学。2.集成电路制造工艺中的测试。3.生物应用。4.薄膜质量评估。5.失效分析
技术特色:针对各类物理、机械、电子、化学、生物样品均能提出对样品制备的要求和建议,给出正确的测试方案;在测试完成后,帮助用户进行数据、曲线和图像的评估和分析
要测试和研究领域:材料/珠宝首饰 电子/信息技术其他
收费标准:其它收费方式
仪器负责人:朱国栋 电话:02165642872
电子邮件:gdzhu@fudan.edu.cn