检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称： 二次离子质谱仪
- 价格型号：IMS6F
- 仪器分类：分析仪器/质谱仪器
- 应用领域：礼品 工艺品;能源;电子元器件
- 所属单位：复旦大学材料科学系
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：法国
- 产 商：CAMECA
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
主要技术指标：(1)深度分辨率：几个纳米；(2)空间分辨率：<一个微米；(3)质量分辨率：m/m5000(4)检测灵敏度：ppmppb；(5)绝缘层厚度为几个微米的样品质谱分析
功能/应用范围：(1)样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析；(2)样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析；(3)样品组分和杂质元素面分布的离子图象；(4)多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析；(5)厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析
技术特色：(1)进行其它表面分析仪器所不能分析的元素氢(H)的检测；(2)IC工艺结深、表面金属化、背面金属化和表面钝化层的质谱检测与深度剖析；(3)半导体材料和光电材料Si,GaAs,HgCdTe,Ge,AsGaIn和InP等的质谱检测与深度剖析；(4)SOI材料性能和工艺的检测；(5)机械设备和金属材料中杂质元素氢(H)的检测，氢脆和金属疲劳机理的探讨
主要测试和研究领域：材料/珠宝首饰电子/信息技术能源/核技术
收费标准：其它收费方式
仪器负责人：钟高余 电话：021-65642393
电子邮件：ymcao@fudan.ac.cn,gyzhong@fudan.edu.cn
传真：021-65103056
