主要技术指标:加速电压0.5-30kv,15kv分辨率1.0nm。
功能/应用范围:材料及微电子、光电子器件微区形貌观察及组份分析。
主要测试和研究领域:材料/珠宝首饰电子/信息技术
收费标准:按样品、小时数收费
仪器负责人:张兆强
电话:51355491
电子邮件:zq_zhang@fudan.edu.cn
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