检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：磁控溅射装置
- 价格型号：
- 仪器分类：其他
- 应用领域：电脑 软件;电子元器件
- 所属单位：复旦大学信息科学与工程学院
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：英国
- 产 商：牛津仪器公司
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
主要技术指标：真空度<1e-6mBar，薄膜淀积速率1~10nm/min
功能/应用范围：离子束溅射，可用于金属薄膜淀积和样品物理刻蚀
主要测试和研究领域：电子/信息技术
收费标准：其它收费方式
仪器负责人：茹国平,陈洁
电话：65643561
电子邮件：gpru@fudan.edu.cn
