主要技术指标:1.真空腔尺寸:Φ1100×1200 2.极限真空度: 2×10-4Pa 3.坩埚容积: 2×1000ml 3.电子枪功率:10kW
功能/应用范围:可用于氧化物等薄膜材料的制备.
主要测试和研究领域:材料/珠宝首饰电子/信息技术
收费标准:其它收费方式
仪器负责人:郑玉祥,陈良尧 电话:656463470
电子邮件:yxzheng@fudan.ac.cn
传真:65643470
通讯地址:上海市邯郸路220号
邮政编码:200433