检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：高真空多靶磁控溅射仪
- 价格型号：KJLC CMS-18*
- 仪器分类：高真空多靶磁控溅射仪
- 应用领域：电脑 软件;电子元器件
- 所属单位：复旦大学信息科学与工程学院
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：美国
- 产 商：美国KURT J.LESKER公司
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
主要技术指标：1、Loadlock预抽真空；2、本底真空：2*10e-8 Torr；3、基板加热，0-400度；4、基板旋转速度可调，1-20 rpm；5、三路气体，可反应溅射；6、五个2英寸溅射枪，和一个3英寸溅射枪；7、三个直流电源和一个射频电源，可制备多层膜和合金薄膜。
功能/应用范围：制备金属和非晶属薄膜，及多层膜。
主要测试和研究领域：电子/信息技术
收费标准：按样品、小时数收费
仪器负责人：马斌 电话：65642059
电子邮件：magnmb@fudan.edu.cn
通讯地址：邯郸路220号复旦大学光科系
邮政编码：200433
