主要技术指标:电流精度10fA电容高频1MHz
功能/应用范围:用于半导体器件的电学(IV、CV)特性测试
主要测试和研究领域:电子/信息技术
收费标准:其它收费方式
仪器负责人:黄大鸣,陈洁
电话:51355420
电子邮件:dmhuang@fudan.edu.cn
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