主要技术指标:AFM噪声水平0.3 ,可对云母、石墨原子像成像控制器反馈相应时间:2s,采样率50MHZ扫描范围:0.4μm×0.4μm×0.4μm或10μm×10μm×2.5μm TUNAZ:电流测量分辨率~2PA;加放大器~50fA
功能/应用范围:系统包含原子力显微镜、电力显微镜、表面电势、电流等微区测量功能。用于半导体材料的表面微结构及微区电学特性测试。
技术特色:-
主要测试和研究领域:电子/信息技术
收费标准:其它收费方式
仪器负责人:黄大鸣,陈洁
电话:021-51355420
电子邮件:dmhuang@fudan.edu.cn