检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：存储薄膜溅射仪
- 价格型号：ACS-4000-C4 Type S型*
- 仪器分类：其他
- 应用领域：电脑 软件;电子元器件
- 所属单位：复旦大学信息科学与工程学院
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：日本
- 产 商：日本ULVAC公司
- 价 值：0
- 购置日期：1899-11-30
主要技术指标：极限真空：成膜室 1.210-6 Pa (load lock)准备室 6.710-4 Pa样品尺寸：4寸(1片/次)可通3路气体：Ar、N2、O2(50 sccm)。可做普通溅射、共溅射和反应溅射，可对样品进行预溅射清洗；衬底温度： 800 oC厚度均匀性：优于±3%靶材尺寸：2寸(磁性：2 mm厚；非磁性：5 mm厚)
功能/应用范围：该设备是制备超薄金属氧化物缓冲层、阻变薄膜、铁电薄膜的关键设备.
技术特色：-
主要测试和研究领域：电子/信息技术
收费标准：其它收费方式
仪器负责人：林殷茵,陈洁 电话：65642198
电子邮件：zhoupengfudan@gmail.com
