主要技术指标:分辨率:高真空成像,最佳工作距离0.8 nm @ 30kV (STEM) 1.0 nm @ 15 kV (TLD-SE) 1.4 nm @ 1 kV (TLD-SE),非减速模式3.5 nm @ 100 V (DBS)高真空分析,分析工作距离3.0nm @ 15 kV & 5nA (TLD-SE)低真空成像,最佳工作距离1.5 nm @ 10 kV (Helix探测器) 1.8 nm @ 3 kV (Helix探测器)
功能/应用范围:主要是对样品进行形貌观察和成分分析
主要测试和研究领域:石油/化工