检测认证人脉交流通讯录
- 仪器名称：电子束光刻机
- 价格型号：e-LiNe
- 仪器分类：其他
- 应用领域：其他
- 所属单位：南京大学国资处
- 所在地点：南京市鼓楼区汉口路22号
- 产 地：
- 产 商：Raith
- 价 值：6733000 元/台
- 购置日期：2009-03-01
技术指标
电子束斑：1kV加速电压时小于4nm，20kV加速电压时小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小时；束斑位置漂移：小于300nm/小时。
仪器用途
微纳结构加工。
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技术指标
电子束斑：1kV加速电压时小于4nm，20kV加速电压时小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小时；束斑位置漂移：小于300nm/小时。
仪器用途
微纳结构加工。
