主要技术指标:分辨率:1.0nm@15kV、1.9nm@1kV;离子束分辨率:2.5nm@30kV;加速电压:0.1-30kV(SEM)、1-30kV(FIB)
功能/应用范围:用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作,是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具,应用范围包含:微纳电子器件、光电子器件、微纳机电系统、超导电子学器件、磁电子学器件、光子晶体等。
主要测试和研究领域:电子/信息技术
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