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仪器名称:
超高真空磁控溅射仪 (ultra-high vacuum magneto-sputtering system)
价格型号:
多功能三室
仪器分类:
工艺实验设备/电子工艺实验设备
应用领域:
其他
所属单位:
复旦大学物理学系
所在地点:
上海市杨浦区邯郸路220号
产 地:
中国
产 商:
沈阳中科仪技术公司
价 值:
0
购置日期:
0000-00-00
主要技术指标:
多功能三室7个靶位
功能/应用范围
:给基片溅射镀各种膜制作样品
主要测试和研究领域:
其他
复旦大学物理学系
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