功能及用途
生物、制药、纳米材料、金属材料、高分子材料、无机材料等方面的表面形貌观察、粒度测量及微区元素成分分析
主要技术指标
分辨率1.0nm (15kV),1.4nm (1kV),放大倍数x20-x800,000
主要附件及功能
3轴马达驱动,带能量过滤器的高位二次电子探头,背散射电子探头,HORIBA能谱仪,减速模式
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