功能及用途
主要用于无机材料、有机材料、纳米材料、半导体材料、生物制药等样品的微观形态测试及微区的定性定量元素分析。
主要技术指标
冷场发射扫描电镜配备3轴马达驱动装置、具有能量过滤器的高位二次电子探头、背散射电子探头及HORIBA能谱仪,最小分辨率1.0nm (15 kV)、1.4nm (1kV),最大放大倍数×800,000,能谱元素分析范围Be4~U92。
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