主要技术指标:1.加速电压:200V~30kV;2.放大倍数:6~100万倍,误差<3%;3.分辨率:3.0~10.0nm;4.真空度:高;6×10-4Pa,低:10Pa~3000Pa;5.冷台温度:-20℃~60℃,精度≤1℃;6.热台温度:最高1500℃,精度5℃。
主要附件及功能:冷台:低温状态;热台:高温状态;真空泵:样品室真空
主要应用领域:电子与测量
检测项目:放大倍数;分辨率。
仪器联系人:黄泽才
联系人电话:0731-85623034
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