主要技术指标:离子枪束能量:1.5KV-6KV;束直径:350μm FWHM at 5kev;离子束电流密度:10Ma;减薄速度:硅,每小时40μm,5kv;样品旋转:无极可变,每分钟1-6转;离子束调制:单一或双面横截面减薄;真空度:5E-6Torr基本压强,工作时8E-5Torrbase;凹坑仪定位精度:小于10nm;减薄厚度控制:1μm。
主要附件及功能:透射电镜的制样。
主要应用领域:材料,地质矿产
检测项目:透射电镜的制样
仪器联系人:褚胜林
联系人电话:0731-88836663