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湖南师范大学

检测认证人脉交流通讯录
  • 仪器名称:光刻机
  • 价格型号:ABM/6/500/DUV/DCCD/BSN/M
  • 仪器分类:工艺实验设备
  • 应用领域:其他
  • 所属单位:湖南师范大学
  • 所在地点:湖南长沙
  • 产  地:美国
  • 产  商:美国ABM公司
  • 价  值:0
  • 购置日期:2006-04-01

  主要技术指标:1)曝光精度:NUV,0.6微米, DUV,0.25微米2)对准精度:1微米

  主要附件及功能:图形转移

  主要应用领域:材料

  检测项目:微加工

  仪器联系人:唐东升

  联系人电话:0731-88873055

湖南师范大学



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