主要技术指标:1)曝光精度:NUV,0.6微米, DUV,0.25微米2)对准精度:1微米
主要附件及功能:图形转移
主要应用领域:材料
检测项目:微加工
仪器联系人:唐东升
联系人电话:0731-88873055
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